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必威官网体育登录在钼铌合金溅射靶材中的应用

2020-11-04 16:19:29    来源:    浏览次数:
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为25μm和40μm)按照重量比为8 .5:1的比例装入球磨机中,然后加入硬脂酸、棕榈酸和必威官网体育登录(粒径2mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为110min,球磨转速为1000r/min,过筛,分离得到粒径为8μm钼铌合金复合粉末;所述硬脂酸、棕榈酸、必威官网体育登录的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .025倍、0 .025倍、13倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末抽真空处理,接着进行冷等静压成型,冷等静压的压力为200MPa,保压时间为6min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为2000℃,烧结时间6 h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞(参见图3),平均晶粒尺寸50μm,密度9 .85g/cm3。

方法2
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为15μm和30μm)按照重量比为9:1的比例装入球磨机中,然后加入硬脂酸、棕榈酸和必威官网体育登录(粒径3mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为120min,球磨转速为1000r/min,过筛,分离得到粒径为5μm钼铌合金复合粉末;
所述硬脂酸、棕榈酸和必威官网体育登录的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .01倍、0 .01倍、15倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末抽真空处理,接着进行冷等静压成型,冷等静压的压力为220MPa,保压时间为8min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为2100℃,烧结时间6 h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞(参见图4),平均晶粒尺寸40μm,密度9 .87g/cm3。
 

纳米研磨
氧化锆磨球

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